Привод cyma представляет собой разновидность механического привода, используемого в тонкопленочных испарителях для управления положением и движением испаряющегося материала. Этот высокоточный привод обеспечивает плавное и точное перемещение субстрата относительно источника испарения, что необходимо для создания тонких пленок с контролируемыми свойствами. Привод cyma работает на основе принципа рычага, где вал, приводимый в движение двигателем, преобразует вращательное движение в линейное движение. Это линейное движение передается на толкатель, который затем перемещает субстрат с помощью механизма скольжения. Особенности привода cyma:

• Управление положением: Привод cyma обеспечивает точное и стабильное управление положением субстрата во время процесса испарения.
• Контроль скорости: Скорость движения субстрата можно регулировать, что позволяет оптимизировать процесс испарения для достижения желаемых характеристик пленки.
• Низкое трение: Механизм скольжения, используемый в приводе cyma, минимизирует трение, обеспечивая плавное и точное движение.
• Вакуумная совместимость: Привод cyma обычно изготавливается из материалов, совместимых с вакуумом, что позволяет использовать его в тонкопленочных испарителях. Применение привода cyma: Привод cyma широко используется в различных технологических процессах, включая:
• Испарение в вакууме
• Отложение пленок методом молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ)
• Физическое осаждение из паровой фазы (PVD)
• Химическое осаждение из паровой фазы (CVD)